A+ A A-
Вакуумные печи
Вакуумметры
Вакуумплотная керамика
Функциональные покрытия
Зондовая микроскопия
Нестандартное оборудование
Вакуумно-плазменный переплав
Механическое производство
 
 

Институт занимается отработкой технологий и созданием оборудования для нанесения различных покрытий методом магнетронного распыления. Одно из главных направлений  – исследование тонкопленочных покрытий. Проводится исследование структуры поверхности и качества нанесения покрытия в зависимости от режимов и методов осаждения. В основном изучаются покрытия на основе титана, алюминия, кремния, углерода, нанесенные на полимерные (тефлон, лавсан и т.д.) и металлические (латунь, дюраль, нержавеющая сталь) подложки, стекло. Области применения их самые различные – от непосредственно вакуумной техники до радиоэлектроники, энергетики, биомедицины, биотехнологии, производства товаров народного потребления.

НАШИ ВОЗМОЖНОСТИ:

- Изготовление покрытия под пайку медью, на обратной стороне распыляемых мишеней, на стеклянных, полиимидных, керамических и др. изделиях с высокой степенью адгезии;

- Разработка износостойкого антифрикционного углеродного покрытия;

- Нанесение светоотражающего покрытия с защитным слоем на стеклянную подложку;

- Напыление алюминия на кристаллы кремния и другие подложки;

- Создание оптических фильтров для установок выращивания  монокристаллического кремния;

- Нанесение трехслойных неоднокомпонентных покрытий за один технологический цикл.

 ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТЕЙ ПОЗВОЛЯЮТ:

- Увеличить твердость и износостойкость  поверхностей;

- Уменьшить  шероховатость поверхности;

- Повысить коррозионную  стойкость;

- Снизить коэффициент трения скольжения;

- Уменьшить адгезию полимера;

- Обеспечить устойчивость к воздействию кислот и щелочей и.др.

 Пленка полиимидная с двухсторонним медным покрытием (2 мкм) для производства СВЧ плат

Светоотражающие покрытия с защитным слоем на стекле и полимерах на основе алмазоподобных углеродных структур и кремнийорганических соединений SixCy

image001

Soyzmaw 1

image001